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單片機開發公司:ASML支持5nm制程工藝光刻機,將出現在國內市場

更新時間: 2019-03-22
閱讀量:2537

單片機開發廠商英銳恩今日帶來集成電路半導體行業設備的相關新聞。中國集成電路半導體在設備方面是相對欠缺的,設備大多依靠進口(包括光刻機)。荷蘭的ASML阿斯麥公司是全球最大的光刻機設備和服務提供商。1984年ASML阿斯麥從飛利浦獨立出來,專門致力于研發光刻技術,得益于近乎完美的德國機械工藝以及世界頂級光學廠商德國蔡司鏡頭,再加上美國提供的光源,ASML阿斯麥迅速發展,到如今占到了全球光刻機總銷售收入的78%。

2018年9月13-14日,第二十一屆中國集成電路制造年會在無錫召開,全球高端光刻機壟斷霸主ASML阿斯麥亞太區技術營銷協理鄭國偉介紹,2018年下半年ASML阿斯麥已開始出貨最先進的浸潤式光刻機NXT:2000i,符合集成電路制造5nm制程工藝需求。更值得讓人興奮的是,ASML阿斯麥中國區總裁沈波在接受采訪時表示,這臺ASML阿斯麥最先進的設備也將很快在中國市場看到。

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此前曾有消息稱ASML阿斯麥受到限制沒有把最好的機器設備銷售給中國,對此,沈波表示,上述說法并非事實。ASML阿斯麥的EUV、NXT:1980等高端設備均已進入中國。目前ASML阿斯麥最新最先進的支撐7nm/5nm制程工藝的NXT:2000i也會很快在中國市場看到。

據統計,2017年全球半導體光刻設備廠中,ASML阿斯麥以80%以上的市占率穩居龍頭,其次是日本廠商尼康(Nikon)和 佳能 (Canon),而在高端極外紫光EUV光刻機臺方面,ASML阿斯麥幾乎100%壟斷供應。

“如果我們交不出EUV的話,摩爾定律就會從此停止”,ASML阿斯麥董事長Peter曾接受媒體采訪時說。摩爾定律演進對設備廠商提出很大的技術研發挑戰,巨額的研發投入已經不是一家公司能夠負擔。目前, 英特爾 、 臺積電 、 三星 等ASML阿斯麥所服務的集成電路制造客戶,已經成為ASML阿斯麥的股東,協助ASML阿斯麥研發。 摩根大通 最新報告表示,ASML阿斯麥已經確認1.5nm制程的發展性,可支撐摩爾定律延續至2030年。沈波指出,2018年ASML阿斯麥投入16億歐元研發,占營收約15 %。

光刻機這種高精度光機一體化設備,研發過程是沒有什么捷徑可走的,精度只能一步步提升。ASML阿斯麥公司在光刻機上付出的不僅僅是精力,更是巨額資金的投入。

以上是國內單片機開發廠商英銳恩帶來的行業新聞,單片機開發廠商英銳恩為國內即將有5nm制程工藝的光刻機感到開心。

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