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阿斯麥工廠發生火災 EUV光刻設備供需可能失衡

更新時間: 2022-01-04
閱讀量:2596

近日,荷蘭半導體設備業龍頭阿斯麥(ASML Holding NV)宣布德國柏林廠有某一處失火,分析人士認為,這意味著極紫外光(EUV)微影設備供需可能失衡。

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阿斯麥1月3日發布新聞稿宣布,柏林廠火勢已于昨晚撲滅、幸無人員受傷。該公司稱,對外公布損失金額、意外是否影響今年產出的時機尚未成熟,要花上幾天進行徹底調查及完整評估。只要評估出爐,ASML會立刻對外更新消息。

ASML柏林廠主要制造微影系統需要的零組件,當中包括晶圓固定工作臺、晶圓夾具、光罩吸盤、反射鏡等。ASML在2020年并購德商Berliner Glas。

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